山东有研艾斯申请改善单晶多线切割机利用布局

  国度学问产权局消息显示,山东有研艾斯半导体材料无限公司申请一项名为“一种改善单晶多线切割机利用布局钢线切割单晶所得晶圆描摹的方式”的专利,公开号CN121062041A,申请日期为2025年10月。专利摘要显示,本发现公开了一种改善单晶多线切割机利用布局钢线切割单晶所得晶圆描摹的方式,属于硅单晶多线切割手艺范畴。包罗如下步调:(1)单晶多线切割机预设恒定切削液温度进行切割,并确定正在切割到晶圆分歧时参取切割后的切削液温度变化纪律取所得晶圆描摹的相关性;(2)制定切削液温度变化曲线,通过调整正在切割到晶圆分歧时切削液的温度,使整个切割过程中参取切割后的切削液温度变化平缓,从而获得较为平整的晶圆描摹。最终获得较为平整法则对称的晶圆描摹。山东有研艾斯半导体材料无限公司,成立于2020年,位于市,是一家以处置非金属矿物成品业为从的企业。通过天眼查大数据阐发,山东有研艾斯半导体材料无限公司共对外投资了1家企业,参取招投标项目418次,财富线条,此外企业还具有行政许可22个。